Gigaphoton加速研发用于脉冲激光沉积的准分子激光器

半导体光刻光源制造商Gigaphoton Inc.（总部：枥木县小山市；总裁兼首席执行官：Tatsuo Enami）宣布，将参与由日本内阁官房主导的“Moonshot研发计划”。

日本内阁官房网站显示，“Moonshot研发计划”设定了吸引人才的宏伟目标，旨在汇聚全球研究人员的智慧，推进具有挑战性的研发项目，以解决棘手的社会问题。
其中，“目标10”聚焦于通过聚变能的多元化应用，在2050年前实现与全球环境和谐共生、无资源限制的充满活力的社会。

Gigaphoton将参与由项目经理Takanobu Kiss博士牵头的“目标10”研发项目——“实现各种创新聚变反应堆概念的基础超导技术”。该项目旨在建立高质量、低成本的高性能REBCO*线材大规模生产技术。这类线材是聚变反应堆用超导磁体的关键部件。
Gigaphoton正致力于研发用于脉冲激光沉积(PLD)的准分子激光器。凭借在全球半导体光刻工艺中广泛应用的准分子激光技术专长，Gigaphoton将助力提升PLD设备的性能，同时实现高可用性。

Gigaphoton总裁兼首席执行官Tatsuo Enami表示：“用于聚变反应堆的高温超导线材代表着一个极具潜力且引人瞩目的领域。此外，应对这一挑战对于实现碳中和至关重要。Gigaphoton将通过参与该项目，为实现碳中和与可持续社会贡献力量。”

* REBCO：稀土钡铜氧化物(Rare Earth-Barium-Copper-Oxide)的缩写，是一种由稀土元素和铜氧化物组成的高温超导材料。它在低于液氮温度(-196°C)时会进入超导状态（电阻为零）。

关于GIGAPHOTON

自2000年成立以来，GIGAPHOTON一直作为光源制造商为全球半导体制造商提供宝贵的解决方案。 从研发到制造、销售和维护服务的每一个阶段，GIGAPHOTON致力于从日常用户的角度提供世界一流的支持。